NanoCalc 薄膜反射测量系统
薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。
产品特点
- 可分析单层或多层薄膜
- 分辨率达0.1nm
- 适合于在线监测
操作理论
*常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。
查找n和k值
可以进行多达三层的薄膜测量，薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库，用户也可以自己添加和编辑。
应用
NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量，包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。
NanoCalc系统
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NC-UV-VIS-NIR
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重量：
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250-1100 nm
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厚度：
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10 nm-70 m
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光源：
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氘卤灯
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NC-UV-VIS
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重量：
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250-850 nm
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厚度：
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10 nm-20 m
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光源：
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氘卤灯
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NC-VIS-NIR
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重量：
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400-1100 nm
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厚度：
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20nm-100µm (可选1µm-250µm)
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光源：
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卤灯
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NC-VIS
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重量：
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400-850 nm
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厚度：
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50 nm-20μm
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光源：
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卤灯
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NC-NIR
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重量：
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650-1100 nm
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厚度：
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70 nm-70μm
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光源：
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卤灯
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NC-NIR-HR
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重量：
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650-1100nm
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厚度：
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70 nm-70μm
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光源：
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卤灯
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NC-512-NIR
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重量：
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900-1700 nm
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厚度：
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50 nm-200μm
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光源：
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高亮度卤灯
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NanoCalc规格
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入射角：
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90°
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层数：
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3层以下
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需要进行参考值测量：
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是
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透明材料：
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是
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传输模式：
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是
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粗糙材料：
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是
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测量速度：
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100ms - 1s
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在线监测：
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可以
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公差（高度）：
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参考值测量或准直(74-UV)
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公差（角度）：
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参考值测量
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微黑子选项：
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配显微镜
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显示选项：
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配显微镜
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定位选项：
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6"和12" XYZ 定位台
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真空：
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可以
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