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SpecEl 椭偏仪

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产品名称: SpecEl 椭偏仪
产品型号: SpecEl-2000-VIS
产品厂商: 其它品牌
产品文档: 无相关文档
简单介绍
    

SpecEl 椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率,吸光率及膜厚的测量。

SpecEl 椭偏仪 的详细介绍

SpecEl 椭偏仪

SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率,吸光率及膜厚的测量。

集成的**测量系统
SpecEl由一个集成的光源,一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成,并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜,并且折射率测量可达0.005%。
SpecEl可通过电话问价。

SpecEl
软件及Recipe配置文件
通过SpecEI软件,你可以配置及存贮实验设计方法实现一键分析,所有的配置会被存入recipe文件中。创建recipe后,你可以选择不同的recipe来执行你的实验。

SpecEI软件截图显示的PsiDelta值可以用来计算厚度,折射率及吸光率。

配置说明
波长范围:
380-780 nm (标准) 450-900 nm (可选)
光学分辨率:
4.0 nm FWHM
测量精度:
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:
70°
膜厚:
单透明膜1-5000 nm
光点尺寸:
2 mm x 4 mm (标准) 200 µm x 400 µm (可选)
采样时间:
3-15s (*小)
动态记录:
3 seconds
机械公差 (height):
+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°
膜层数:
至多32
参考:
不用
 
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